[发明专利]双层异质结构模具、制造方法及其在制备微纳米材料的应用在审
| 申请号： | 201710139866.4 | 申请日： | 2017-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN106744668A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 董健;金焱立;龙芝剑;孙笠;董鹤 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | B82B1/00 | 分类号： | B82B1/00;B82B3/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司33201 | 代理人： | 王兵,黄美娟 |
| 地址： | 310014 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 双层异质结构模具、制造方法及其在制备微纳米材料的应用，所述的模具包括硅衬板，所述的硅衬板的上表层沿硅衬板轴向分布多列微米级凹槽组，每列凹槽组包括若干等距排列的微米凹槽，相邻两列凹槽组轴向间距梯度渐增；整个硅衬板上表面分布纳米级孔，微米凹槽以及分布在微米凹槽表面的纳米级孔形成二级结构；所述的制造方法采用化学方法刻蚀出特定的内凹正四棱台微米结构，利用多孔AAO膜在硅基底上间接产生均匀有序的内凹半球纳米结构。本发明的有益效果是直接制造内凹正四棱台，制备简单、直接；纳米结构均匀、尺寸小和精度高；在模具上注入PDMS，通过简单处理即可得到特定的滴状冷凝且自集水微纳米材料，易于进行大规模生产；重复使用率高。 | ||
| 搜索关键词： | 双层 结构 模具 制造 方法 及其 制备 纳米 材料 应用 | ||
【主权项】：
双层异质结构模具，包括硅衬板，其特征在于：所述的硅衬板的上表层沿硅衬板轴向分布多列微米级凹槽组，并且每列所述的凹槽组包括若干等距排列的微米凹槽，相邻两列凹槽组轴向间距梯度渐增，凹槽组内微米凹槽间距的随凹槽组之间的间距增大而增大；整个所述的硅衬板上表面分布纳米级孔，所述的微米凹槽以及分布在微米凹槽表面的纳米级孔形成二级结构。
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