[发明专利]一种研磨抛光加工状态在线监测装置有效
| 申请号： | 201710141347.1 | 申请日： | 2017-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN106956216B | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 李军;仝浩呈;朱永伟;左敦稳;郭太煜;王健杰;黄俊阳 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学;南京航空航天大学无锡研究院 |
| 主分类号： | B24B49/00 | 分类号： | B24B49/00 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 瞿网兰 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种研磨抛光加工状态在线监测装置，其特征是它包括环抛机上由一台电机驱动的研磨抛光盘（1）和由另一台电机驱动保持环（4）转动，在研磨抛光盘（1）上安装有研磨抛光垫（3），保持环（4）中安装有晶圆承载器（2），工件（5）安装在晶圆承载器（2）的下部并在保持环的带动下与垫光垫（3）作相对的研磨抛光加工，在晶圆承载器（2）上安装有传感器（6），传感器（6）与固定安装在平台（10）上的信号调理电路（7）电气相连，信号调理电路（7）与固定安装在平台（10）上的数据采集器（8）电气连接，数据采集器（8）通过导电滑环（9）与计算机相连；所述的平台安装在保持环（4）上并同步转动。本发明对设备要求低，成本低，方便操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 抛光 加工 状态 在线 监测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种研磨抛光加工状态在线监测装置，其特征是它包括环抛机上由一台电机驱动的研磨抛光盘（1）和由另一台电机驱动保持环（4）转动，在研磨抛光盘（1）上安装有研磨抛光垫（3），保持环（4）中安装有晶圆承载器（2），工件（5）安装在晶圆承载器（2）的下部并在保持环的带动下与研磨抛光垫 （3）作相对的研磨抛光加工，在晶圆承载器（2）上安装有传感器（6），传感器（6）与固定安装在平台（10）上的信号调理电路（7）电气相连，信号调理电路（7）与固定安装在平台（10）上的数据采集器（8）电气连接，数据采集器（8）通过导电滑环（9）与计算机相连；所述的平台安装在保持环（4）上并同步转动；所述的传感器（6）用来监测研磨抛光过程中的物理量并转换成电信号；由声发射传感器、负载传感器、温度传感器和加速度传感器中的一种或多种组成；所述的传感器被传感器夹具固定于晶圆承载器上；所述的导电滑环（9）的旋转内圈固定于平台（10）的中轴上，与数据采集器（8）相连接；静止外圈与计算机相连接；通过多种传感器对研磨抛光状态进行在线监测，测得声发射、力、振动物理量并实时显示，使得操作者能根据测得研磨抛光状态采取合适的操作，提高加工效率和质量。
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