[发明专利]一种三元掺杂纳米复合多层类金刚石涂层及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201710141366.4 | 申请日： | 2017-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN107083551B | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 代伟;高翔;王启民 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C14/06;C23C14/35;C23C14/46 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 张燕玲;杨晓松 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于表面防护技术及相关涂层材料技术领域，公开了一种三元掺杂纳米复合多层类金刚石涂层及其制备方法和应用。该涂层由碳元素、碳化物形成金属元素、弱碳化物形成金属元素和非金属元素组成。涂层中，碳元素以无定形碳形式存在，形成无定形碳网络结构；碳化物形成金属元素与碳元素结合形成碳化物相；弱碳化物形成金属元素以固溶体状态存在；非金属元素原子取代无定形碳网络结构中的碳原子位置，参与构建网络结构；利用掺杂元素自身的扩散能力，通过调节支架旋转速度，控制涂层在每一个旋转生长周期内的掺杂量，在涂层中形成掺杂量高的类金刚石层(富掺杂层)与掺杂量低的类金刚石层(贫掺杂层)交替多层结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三元 掺杂 纳米 复合 多层 金刚石 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种三元掺杂纳米复合多层类金刚涂层，其特征在于：该涂层由碳元素、碳化物形成金属元素、弱碳化物形成金属元素和非金属元素组成；涂层中，碳化物形成金属元素的原子百分比含量为5～20％、弱碳化物形成金属元素的原子百分比含量为10～15％，非金属元素的原子百分比含量为2％～10％，余量为碳元素；涂层中，碳元素以无定形碳形式存在，形成无定形碳网络结构；碳化物形成金属元素与碳元素结合形成碳化物相；弱碳化物形成金属元素以固溶体状态存在；非金属元素原子取代无定形碳网络结构中的碳原子位置，参与构建网络结构；利用掺杂元素自身的扩散能力，通过调节支架旋转速度，控制涂层在每一个旋转生长周期内的掺杂量，在涂层中形成弱碳化物形成金属元素原子百分比含量大于15％的类金刚石层与弱碳化物形成金属元素原子百分比含量低于10％的类金刚石层交替多层结构；所述碳化物形成金属元素为钛或铬；所述弱碳化物形成金属元素为铝；所述非金属元素为硅。
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