[发明专利]一种减小蒸镀掩膜板变形的方法在审
| 申请号： | 201710141700.6 | 申请日： | 2017-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN106868454A | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 李欣;陈亮;曹顺有 | 申请（专利权）人： | 南京攀诺德自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 南京汇盛专利商标事务所(普通合伙)32238 | 代理人： | 陈扬 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市经济技术开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种减小蒸镀掩膜板变形的方法，利用磁性材料制作蒸镀掩膜板，同时在腔室底部（或顶部）安装磁性材料，利用磁性材料同极相斥、异极相吸的原理，来减小因重力导致的掩膜板变形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减小 蒸镀掩膜板 变形 方法 | ||
【主权项】：
一种减小蒸镀掩膜板变形的方法，其特征在于：包括如下步骤步骤一：将基板（1）、与基板（1）紧贴于一起且位于基板（1）下方的蒸镀掩膜板（2）、以及磁铁（3）设置于腔室中，其中磁铁（3）放置于腔室底部，基板（1）和蒸镀掩膜板（2）放置于磁铁（3）的上方且与磁铁（3）相间隔开；步骤二：将蒸镀掩膜板（2）底部的磁性和磁铁（3）顶部的磁极设置为相同的磁极；步骤三：根据磁极之间同性相斥，磁铁（3）对蒸镀掩膜板（2）整体有个向上的无形抬力来对冲重力对蒸镀掩膜板（2）的引力，从而极大的较少蒸镀掩膜板（2）因重力导致的变形。
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