[发明专利]制造集成电路的方法在审
申请号: | 201710142049.4 | 申请日: | 2017-03-10 |
公开(公告)号: | CN107799463A | 公开(公告)日: | 2018-03-13 |
发明(设计)人: | 索拉拜恩·迪格兰;申梁在;伯格曼·康斯坦丁;维拉诺威瓦·罗兰度·A;孙允乐 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/768 | 分类号: | H01L21/768;H01L23/528 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种制造集成电路的方法,包含使用标准元件在基板上定义多层半导体装置结构;在半导体装置结构的金属‑氧化物扩散层或多晶硅层上定义输入端口及在金属‑氧化物扩散层上定义输出端口;以及在金属‑氧化物扩散层及多晶硅层上方定义第一金属层,第一金属层具有第一组导电路径及第二组导电路径。此方法进一步包含在第一金属层上方定义第二金属层;以及配置第一组第一金属导电路径及第一组第二金属导电路径以互连不同元件中的多个电路组件,其中半导体装置结构中的元件间连接是通过第一组第一金属导电路径、或第一组第一金属导电路径及第一组第二金属导电路径的组合实现。 | ||
搜索关键词: | 制造 集成电路 方法 | ||
【主权项】:
一种制造一集成电路的方法,其特征在于,该方法包含:定义一多层半导体装置结构,该多层半导体装置结构包含多个标准元件,该多个标准元件是利用一制造技术布置在一基板上,该多层半导体装置结构具有一金属‑氧化物扩散层及一多晶硅层;在该半导体装置结构的该金属‑氧化物扩散层或该多晶硅层两者中的任一者上定义一输入端口及在该半导体装置结构的该金属‑氧化物扩散层上定义一输出端口;定义一第一金属层,该第一金属层具有一第一组第一金属导电路径及一第二组第一金属导电路径,其中该第一组第一金属导电路径中的至少一个第一金属导电路径在多个元件穿过延伸;在该第一金属层上方定义一第二金属层,该第二金属层具有水平方向第二金属导电路径,其中所述第二金属导电路径沿一方向设置,该方向垂直于所述第一金属导电路径的方向,该第二金属层具有一第一组第二金属导电路径及一第二组第二金属导电路径;以及配置该第一组第一金属导电路径及该第一组第二金属导电路径以互连不同元件的多个电路组件,其中该半导体装置结构中的元件间连接是通过该第一组第一金属导电路径、或该第一组第一金属导电路径及该第一组第二金属导电路径的组合实现。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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