[发明专利]平面面形子孔径拼接干涉测量装置和测量方法

摘要

一种平面面形子孔径拼接干涉测量装置和测量方法，装置包括干涉仪、干涉仪拼接位移台、干涉仪倾斜调整台、被测件拼接位移台、被测件倾斜调整台、被测件，支撑平台及控制系统。本发明具有子孔径定位精度高、测量精度高和全自动测量的优点。

主权项

1.一种平面面形子孔径拼接干涉检测装置，其特征在于，包括：干涉仪(3)、干涉仪拼接位移台(1)、干涉仪倾斜调整台(2)、被测件拼接位移台(4)、被测件倾斜调整台(5)、被测件(6)、支撑平台(7)和控制系统(8)；所述的干涉仪(3)包含平面标准镜(3‑2)和标准镜倾斜调整架(3‑1)；所述的平面标准镜(3‑2)的参考面所在平面为XY平面，所述的干涉仪(3)输出的准直光束的方向为Z方向，XY平面与Z方向垂直，X方向与Y方向在XY平面内相互垂直；所述的干涉仪拼接位移台(1)是沿X方向运动的一维线性电动位移台；所述的干涉仪倾斜调整台(2)是具有绕X和Y方向旋转微调节功能的二维电动倾斜调节台；所述的被测件拼接位移台(4)是沿Y方向运动的一维线性电动位移台；所述的被测件倾斜调整台(5)是具有绕X和Y方向旋转微调的二维电动倾斜调节台；所述的干涉仪倾斜调整台(2)安装在干涉仪拼接位移台(1)的工作台面上；所述的干涉仪(3)安装在所述的干涉仪倾斜调整台(2)上；所述的被测件倾斜调整台(5)安装在所述的被测件拼接位移台(4)上；所述的干涉仪拼接位移台(1)和被测件拼接位移台(4)安装在所述的支撑平台(7)上；所述的平面标准镜(3‑2)安装在所述的标准镜倾斜调整架(3‑1)上；所述的干涉仪(3)的出射光垂直入射在被测件(6)的待测面上；所述的干涉仪拼接位移台(1)和被测件拼接位移台(4)通过组合线性移动，所述的干涉仪(3)的测量光斑覆盖被测件(6)的待测面全口径；所述的控制系统(8)包括计算机及配套驱动控制电路，所述的控制系统(8)分别通过电缆与所述的干涉仪(3)、干涉仪拼接位移台(1)、干涉仪倾斜调整台(2)、被测件拼接位移台(4)、被测件倾斜调整台(5)连接并控制其工作。