[发明专利]一种溶胶涂布法制备钛酸镧薄膜的方法

摘要

本发明公开了一种溶胶涂布法制备钛酸镧薄膜的方法，本发明通过对硅基底表面进行预处理可很好地提高其对导电溶胶的亲和性能，使得喷涂过程中导电溶胶更加均匀的分布在硅基底表面，本发明采用化学溶液沉积法制得的钛酸镧导电薄膜材料，有效提高了钛酸镧导电薄膜材料的导电性，具有工艺简单。

主权项

一种溶胶涂布法制备钛酸镧薄膜的方法，该方法包括如下步骤：（1）基底处理用Si(100)作基底，用酒精棉球反复轻轻擦洗衬底表面，以除去表面的有机物；将擦洗过的基片放入装有丙酮的烧杯中，在超声清洗槽内清洗10‑15分钟；然后将基底放入到硝酸中静置浸泡2‑4h；取出基底放入到去离子水中静置2‑3h，除去表面的硝酸；放在通风橱中静置晾干5‑10h；（2）以乙二醇甲醚为溶剂，以硝酸镧、醋酸钛和硝酸银为溶质配制绿色透明溶液，其中La3+、Ti2+和Ag+的摩尔比为1:1:0.05‑0.1，La3+的摩尔浓度为0.1mol/L；将配制的绿色透明溶液滴到基底上进行旋涂镀膜，先以500‑800转/分的速率旋涂5‑10秒，再以2500‑3500转/分的速率旋涂35‑45秒得到前驱体湿膜；将得到的前驱体湿膜放入马弗炉中于350‑380℃退火处理1‑2分钟；重复多次涂镀和退火制得所需厚度的钛酸镧复合导电薄膜材料，其中最后一次的退火时间延长为10‑15分钟。