[发明专利]平面靶材固定压紧装置有效
申请号: | 201710146054.2 | 申请日: | 2017-03-13 |
公开(公告)号: | CN106676492B | 公开(公告)日: | 2019-08-02 |
发明(设计)人: | 潘泽 | 申请(专利权)人: | 大连爱瑞德纳米科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 王涛;汤在彦 |
地址: | 116400 辽宁省大连*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供了一种平面靶材固定压紧装置,包括:压紧装置主体,至少一弹簧气胀压紧组件,至少一安装维护部件及设置在压紧装置主体内的压缩空气气路;压紧装置主体上设置有压缩空气气嘴以及用于安装弹簧气胀压紧组件的安装槽;压缩空气气嘴安装在与压缩空气气路连接的气嘴孔上,压缩空气气路通过一气管与安装槽联通;弹簧气胀压紧组件包括压紧板及弹簧,弹簧一端固定在压紧板的底座上,压紧板在压缩空气或者弹簧的推动下沿安装槽移动,实现平面靶材的安装及压紧;安装维护部件固定在压紧装置主体上,位于安装槽的开口处,与弹簧的另一端接触。利用本发明,可以快速对靶材进行安装压紧和拆卸,节约时间,降低成本。 | ||
搜索关键词: | 平面 固定 压紧 装置 | ||
【主权项】:
1.一种平面靶材固定压紧装置,其特征在于,包括:压紧装置主体,至少一弹簧气胀压紧组件,至少一安装维护部件及设置在所述压紧装置主体内的压缩空气气路;所述压紧装置主体上设置有压缩空气气嘴以及用于安装所述弹簧气胀压紧组件的安装槽;所述压缩空气气嘴安装在与所述压缩空气气路连接的气嘴孔上,所述压缩空气气路通过一气管与所述安装槽联通;所述弹簧气胀压紧组件包括压紧板及弹簧,所述弹簧一端固定在所述压紧板的底座上,所述压紧板在压缩空气或者弹簧的推动下沿所述安装槽移动,实现平面靶材的安装及压紧;所述安装维护部件固定在所述压紧装置主体上,位于所述安装槽的开口处,与所述弹簧的另一端接触;其中,所述弹簧气胀压紧组件还包括:唇形密封圈,套设在所述压紧板底座的凹槽中;所述安装维护部件具有一用于对所述压紧板进行导向的限位部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大连爱瑞德纳米科技有限公司,未经大连爱瑞德纳米科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710146054.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:圆柱面磁控溅射装置
- 下一篇:一种圆珠笔笔托的表面改性方法
- 同类专利
- 专利分类