[发明专利]光谱共焦检测系统及方法

摘要

本发明提供了光谱共焦检测系统及方法，同步触发直线电机位移平台和光谱共焦位移传感器，以预设的扫描间距、扫描长度及采样频率，直线电机位移平台采集XY轴的坐标值、光谱共焦位移传感器实时同步采集Z轴的坐标值；完成一次采样后，控制直线电机位移平台移动预设的距离，不需要反馈直线电机位移平台移动到位的信号，光谱共焦位移传感器再次进行采样。不仅极大地提高了检测效率，实现对物体快速连续精密扫描，而且尤其适用于精细的二维轮廓与三维形貌的检测。此外，控制精度高、结构简单、运行稳定。

主权项

1.一种光谱共焦检测方法，运行于光谱共焦检测装置中，所述光谱共焦检测装置至少包括光谱共焦位移传感器、检测平台、直线电机位移平台和控制模块，所述直线电机位移平台的动子上设置有所述检测平台或所述光谱共焦位移传感器，其特征在于，该方法包括以下步骤：S1：在控制模块中设置检测类型、所述光谱共焦位移传感器的类型和采样频率；S2：校准所述光谱共焦检测装置；S3：同步触发所述直线电机位移平台和所述光谱共焦位移传感器，以预设的扫描间距、扫描长度及采样频率，所述直线电机位移平台采集XY轴的坐标值、所述光谱共焦位移传感器实时同步采集Z轴的坐标值；S4：完成一次采样后，控制所述直线电机位移平台移动预设的距离，不需要反馈所述直线电机位移平台移动到位的信号，所述光谱共焦位移传感器再次进行采样；S5：循环步骤S4，得到检测结果。