[发明专利]一种平面型合成射流无阀压电微泵

摘要

本发明公开微流体机械领域中的一种平面型合成射流无阀压电微泵，泵体上从左到右设有灌泵腔、灌泵管、圆形泵腔的下半部分、圆形泵腔的出口缓冲腔、喷管、合成射流腔、合成射流腔的出口缓冲腔，灌泵腔通过灌泵管与圆形泵腔联通，圆形泵腔与圆形泵腔的出口缓冲腔连成一体，圆形泵腔的出口缓冲腔通过喷管与合成射流腔联结，合成射流腔与其出口缓冲腔连成一体；灌泵腔、灌泵管、圆形泵腔的出口缓冲腔、喷管、合成射流腔、合成射流腔的出口缓冲腔的水平横截面均为矩形且关于泵体的水平中心轴前后对称分布，圆形泵腔的水平横截面为圆形且关于水平中心轴前后对称分布；本发明使用平面型设计，提高了容积效率。

主权项

1.一种平面型合成射流无阀压电微泵，具有一个泵体（14），其特征是：泵体（14）上从左到右设有灌泵腔（2）、灌泵管（3）、圆形泵腔（4 ）的下半部分、圆形泵腔的出口缓冲腔（5）、喷管（6）、合成射流腔（9）、合成射流腔的出口缓冲腔（10），灌泵腔（2）通过灌泵管（3）与圆形泵腔（4）联通，圆形泵腔（4）与圆形泵腔的出口缓冲腔（5）连成一体，圆形泵腔的出口缓冲腔（5）通过喷管（6）与合成射流腔（9）联结，合成射流腔（9）与其出口缓冲腔（10）连成一体；灌泵腔（2）、灌泵管（3）、圆形泵腔的出口缓冲腔（5）、喷管（6）、合成射流腔（9）、合成射流腔的出口缓冲腔（10）的水平横截面均为矩形，且关于泵体（14）的水平中心轴前后对称分布，圆形泵腔4的水平横截面为圆形且关于泵体（14）的水平中心轴前后对称分布。