[发明专利]一种新型扫描探针显微镜的检测方法和系统有效
| 申请号： | 201710150146.8 | 申请日： | 2017-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN107085127B | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 吴浚瀚 | 申请（专利权）人： | 广州市本原纳米仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01Q30/04 | 分类号： | G01Q30/04 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 胡辉 |
| 地址： | 510070 广东省广州市先*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型扫描探针显微镜的检测方法和系统，系统包括光源、微悬臂探针、四象限接收器和接收器信号处理模块，光源发出的入射光经微悬臂探针反射后形成反射光，反射光被四象限接收器所接收，四象限接收器的输出端与接收器信号处理模块的输入端连接，光源和四象限接收器调整后所固定的位置能使入射光的中心轴和反射光的中心轴所在的平面与微悬臂探针的悬臂梁伸展轴垂直。本发明使入射光的中心轴和反射光的中心轴所在的平面与微悬臂探针的悬臂梁伸展轴垂直，实现了探针弯曲与探针升降这两种运动方式在检测信号上完全解耦，结构简单，成本低，以微悬臂探针作为唯一载荷，保证了扫描驱动装置的响应频率。本发明可广泛应用于显微镜技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 扫描 探针 显微镜 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种新型扫描探针显微镜的检测系统，其特征在于：包括光源、微悬臂探针、四象限接收器和接收器信号处理模块，所述光源发出的入射光经微悬臂探针反射后形成反射光，所述反射光被四象限接收器所接收，所述四象限接收器的输出端与接收器信号处理模块的输入端连接，所述光源和四象限接收器调整后所固定的位置能使入射光的中心轴和反射光的中心轴所在的平面与微悬臂探针的悬臂梁伸展轴垂直；所述四象限接收器接收面所在的平面与反射光的中心轴垂直，所述四象限接收器四象限的横轴与入射光的中心轴和反射光的中心轴所在的平面垂直。
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