[发明专利]一种基于探针和压电辅助的微操作装置及控制方法在审
| 申请号： | 201710151808.3 | 申请日： | 2017-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN106826757A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 刘国华;卓金尧;李金鑫;李涛;孙宝佳;邓钊钊 | 申请（专利权）人： | 天津工业大学 |
| 主分类号： | B25J7/00 | 分类号： | B25J7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300387 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于探针和压电辅助的微操作装置及控制方法，它涉及一种微纳尺度对象的转移操作装置及控制方法，用以优化传统微操作装置产生的局部高应力缺陷。它包括纳米操纵钨探针，钨探针夹持器，基底压电陶瓷振动平台；在精密步进电机控制下钨探针夹持器实现探针空间三维运动；压电陶瓷振动平台由驱动电源控制。本发明根据不同的微对象选择特定微液介质，利用液体柔顺无刚性应力特点实现微对象拾取，释放时通过调整探针与基底姿态来改变微对象的受力关系，进而驱动基底压电陶瓷模块产生振动摩擦来释放微对象，从而实现被操作对象的转移释放操作。本发明解决了微对象转移操作时的粘着问题，克服了传统操作方法的复杂性和设备成本高的缺点，提高了微对象操作的成功率和精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 探针 压电 辅助 操作 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种基于探针和压电辅助的微操作装置，其特征在于：包括纳米操纵钨探针，钨探针夹持器，基底压电陶瓷振动平台；在精密步进电机控制下钨探针夹持器实现探针空间三维运动；压电陶瓷振动平台由驱动电源控制。
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