[发明专利]测厚设备及基板玻璃的测厚方法

摘要

本发明公开了一种该测厚设备及基板玻璃的测厚方法，该测厚设备包括测量平台(2)；第一运动单元(3)，该第一运动单元沿测量平台的纵向方向安装在测量平台的侧部，第一运动单元包括能够沿测量平台的纵向方向来回移动的第一滑块(3‑1)；第二运动单元(4)，该第二运动单元沿测量平台的横向方向设置在测量平台上，并且第二运动单元与第一运动单元的第一滑块连接，第二运动单元包括能够沿测量平台的横向方向来回移动的第二滑块(4‑1)；以及传感器(6)，传感器朝向测量平台安装在第二滑块上。本发明通过第一运动单元和第二运动单元的双向运动，使得实现对整张基板玻璃的逐行测量；并且由于采用传感器测量，提高了测量精度。

主权项

测厚设备，其特征在于，该测厚设备包括：测量平台(2)；第一运动单元(3)，该第一运动单元(3)沿所述测量平台(2)的纵向方向安装在所述测量平台(2)的侧部，所述第一运动单元(3)包括能够沿所述测量平台(2)的纵向方向来回移动的第一滑块(3‑1)；第二运动单元(4)，该第二运动单元(4)沿所述测量平台(2)的横向方向设置在所述测量平台(2)上，并且所述第二运动单元(4)与所述第一运动单元(3)的第一滑块(3‑1)连接，所述第二运动单元(4)包括能够沿所述测量平台(2)的横向方向来回移动的第二滑块(4‑1)；以及传感器(6)，所述传感器(6)朝向所述测量平台(2)安装在所述第二滑块(4‑1)上。