[发明专利]阀驱动装置、功能液供应单元以及液滴喷吐装置

摘要

本发明提供阀驱动装置、功能液供应单元以及液滴喷吐装置。能够在二次液室中尽量不产生余压的情况下将强制开放的自封阀的阀体闭合。一种阀驱动装置(37)针对包括：一次液室(62)；二次液室(64)；阀体(67)，其打开或关闭将一次液室和二次液室连通的连通流路(66)；受压部件(71)，将二次液室和大气液密地分隔；以及工作部件(72)，其将受压部件(71)的反应传给阀体，以打开或关闭阀体，并且受压部件具有使工作部件工作的受压板部(78)以及被设置于受压板部的周围的受压膜部(77a)的自封阀(36)，从二次液室的大气侧推压受压部件，并经由工作部件强制开放阀体，阀驱动装置包括推压驱动部(80)，先于受压膜部解开对受压板部的推压。

主权项

一种阀驱动装置，其特征在于，所述阀驱动装置针对包括：一次液室，其具有功能液的流入口；二次液室，其具有所述功能液的流出口；阀体，其打开或关闭将所述一次液室和所述二次液室连通的连通流路；受压部件，其被设置于所述二次液室的一个壁面，将所述二次液室和大气液密地分隔，并且根据所述二次液室的压力和大气压的压力差而响应；以及工作部件，其将所述受压部件的响应传给所述阀体，以打开或关闭所述阀体，并且，所述受压部件具有使所述工作部件工作的受压板部以及被设置于所述受压板部的周围的受压膜部的自封阀，从所述二次液室的大气侧推压所述受压部件，并经由所述工作部件强制开放所述阀体，所述阀驱动装置包括推压驱动部，所述推压驱动部先于所述受压膜部解开对所述受压板部的推压。