[发明专利]固态成像装置、固态成像装置的制造方法和电子设备

摘要

本发明涉及固态成像元件和固态成像元件的制造方法以提供具有优良的光聚集性能的固态成像元件，本发明还涉及电子设备。固态成像元件包括半导体基体(11)和形成在半导体基体(11)上的光电转换部分。固态成像元件被提供有层叠在半导体基体上的隔着至少一个应力弛豫层(22)的有机材料层和无机材料层。例如，该技术可应用于具有布置在像素上的微透镜等的固态成像元件。

主权项

1.一种固态成像装置，包括：微透镜的层，所述微透镜为无机材料；平坦化层，所述平坦化层为有机材料；在所述平坦化层与所述微透镜的层之间的应力弛豫层，所述微透镜和所述平坦化层接触所述应力弛豫层，所述应力弛豫层为由不同材料制成的多个应力弛豫层；布置在所述平坦化层之下的滤色器的层，和布置在所述滤色器的层之下的不同的平坦化层，其中，所述平坦化层与所述不同的平坦化层接触所述滤色器。