[发明专利]数字散斑干涉面内微小动态形变测量系统及测量方法有效
| 申请号： | 201710161241.8 | 申请日： | 2017-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN106767489B | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 王永红;高新亚;但西佐;孙方圆;赵琪涵;杨连祥 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种数字散斑干涉面内微小动态形变测量系统及测量方法，其特征是：低相干激光器的出射光经分光片后分为透射光和反射光，透射光经扩束后照射被测物面，反射光经平面镜和扩束镜后照射被测物面；测量面漫反射的光经分光棱镜后分为两束光；两束光分别经平面镜、光阑、成像透镜和分光棱镜后同时成像到CCD相机上。本发明可对被测物的微小面内变形进行动态测量，是一种全场、高精度、易操作的测量系统。 | ||
| 搜索关键词： | 数字 干涉 微小 动态 形变 测量 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种数字散斑干涉面内微小动态形变测量系统，其特征是：以低相干激光器(1)为激光光源，所述低相干激光器(1)出射的激光经分光片(2)分束为透射光和反射光；所述透射光经第一扩束镜(3)扩束后作为第一照明光照射被测面(6)，所述反射光依次经第一平面镜(4)和第二扩束镜(5)后作为第二照明光照射被测面(6)；所述被测面(6)表面的漫反射光在第一分光棱镜(7)中按5:5分束，形成光轴互成90度的第一光束和第二光束；所述第一光束依次经第二平面镜(13)、第一光阑(14)、第一成像透镜(15)和第二分光棱镜(16)形成第一出射光束成像在CCD相机(17)的靶面上；所述第二光束依次经第三平面镜(8)、第四平面镜(9)、第五平面镜(10)、第二光阑(11)、第二成像透镜(12)和第二分光棱镜(16)形成第二出射光束成像在CCD相机(17)的靶面上；使所述第一出射光束和第二出射光束在CCD相机(17)的靶面上干涉，形成散斑干涉图。
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