[发明专利]一种复合稀土永磁薄膜、其制备方法及其应用器件有效
| 申请号： | 201710161608.6 | 申请日： | 2017-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN108630378B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 王子龙;罗阳;张洪滨;胡斌;于敦波;谢佳君;闫文龙 | 申请（专利权）人： | 有研稀土新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H01F10/28 | 分类号： | H01F10/28;H01F41/14 |
| 代理公司： | 北京智桥联合知识产权代理事务所(普通合伙) 11560 | 代理人： | 张晓煜 |
| 地址： | 100088 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种复合稀土永磁薄膜、其制备方法及其应用器件。所述薄膜包括衬底和生长在衬底之上的稀土永磁薄膜，其中所述衬底为形状记忆合金。采用磁控溅射、真空蒸镀、电沉积、物理气相沉积或化学气相沉积对衬底进行生长薄膜处理，生长出所述的稀土永磁薄膜。本发明的复合稀土永磁薄膜通过衬底马氏体相变过程产生的形状记忆效应，在薄膜和衬底的界面处形成晶格错配，从而能够在薄膜中连续可控地引入应变，实现对稀土永磁薄膜性能的调控和优化，使其满足电子产品小型化、轻薄化、高性能化的发展需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 稀土 永磁 薄膜 制备 方法 及其 应用 器件 | ||
【主权项】：
1.一种复合稀土永磁薄膜，其特征在于，所述薄膜包括衬底和生长在衬底之上的稀土永磁薄膜，其中所述衬底为形状记忆合金。
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