[发明专利]一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置有效
| 申请号： | 201710163982.X | 申请日： | 2017-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN106686876B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 邬钦崇;邬明旭;全峰 | 申请（专利权）人： | 深圳优普莱等离子体技术有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 深圳市卓科知识产权代理有限公司 44534 | 代理人： | 邵妍;张金玲 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置，包括微波等离子体源，微波等离子体源装入不同形式的真空室内，构成不同形式的远程微波等离子体装置，微波等离子体源由微波腔、产生等离子体的介质容器和产生微波的磁控管及其供电电源组成，微波腔由矩形波导制成，在矩形波导一端离短路板距离为λg/4处，磁控管的天线在圆孔中心伸入矩形波导，磁控管的天线距这一端的短路板18.6mm，介质管的一端接装有进气口的法兰，与介质管通过O形胶圈形成真空密封连接。用本远程微波等离子体装置可进行多种物件的表面处理，可使得物件表面变得更加光滑，产量增加，对水的接触角从未处理的115°减少到85°。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 等离子体 远程 装置 | ||
【主权项】：
一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置，其特征在于：包括微波等离子体源，微波等离子体源装入不同形式的真空室内，构成不同形式的远程微波等离子体装置，微波等离子体源由微波腔、产生等离子体的介质容器和产生微波的磁控管及其供电电源组成，微波腔由矩形波导制成，在矩形波导一端离短路板距离为λg/4处，有介质制成的管穿过H面，矩形波导的另一端的H面的中轴线上开一个圆孔安装磁控管，磁控管的天线在圆孔中心伸入矩形波导，磁控管的天线距这一端的短路板18.6mm，介质管的一端接装有进气口的法兰，与介质管通过O形胶圈形成真空密封连接，进气口通过O形胶圈与气路系统的输气管道相连接，介质管的另一端通过密封法兰和O形胶圈与真空室形成真空密封连接。
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