[发明专利]硅片自动分离设备有效

专利信息
申请号: 201710167129.5 申请日: 2017-03-20
公开(公告)号: CN106903073B 公开(公告)日: 2022-08-12
发明(设计)人: 孙铁囤;汤平;姚伟忠 申请(专利权)人: 常州亿晶光电科技有限公司
主分类号: B07C5/342 分类号: B07C5/342;B07C5/10;B07C5/36
代理公司: 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 代理人: 郑云
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及硅片生产设备技术领域,尤其是涉及一种硅片自动分离设备,包括箱体、控制单元和颜色传感器,所述颜色传感器设置在箱体的一端,所述颜色传感器与所述控制单元信号连接,所述箱体上沿竖直方向设有若干隔板,相邻两隔板之间具有间隙,每层隔板均有两支板组成,两个所述支板设置在所述箱体内的两侧,两个所述支板之间沿硅片输送方向具有间隙,本发明硅片自动分离设备在运用时,通过在颜色传感器检测到的信号,从而对硅片正反面的判断,使得控制单元控制第一驱动装置和第二驱动装置,能够快速分离硅片,并且在硅片被分离后,并不影响下一片硅片的通过和检测,提高了工作效率,避免了硅片漏翻或者是误翻现象。
搜索关键词: 硅片 自动 分离 设备
【主权项】:
一种硅片自动分离设备,其特征在于:包括箱体(1)、控制单元(2)和颜色传感器(3),所述颜色传感器(3)设置在箱体(1)的一端,所述颜色传感器(3)与所述控制单元(2)信号连接,所述箱体(1)上沿竖直方向设有若干隔板(4),相邻两隔板(4)之间具有间隙,每层隔板(4)均有两支板(401)组成,两个所述支板(401)设置在所述箱体(1)内的两侧,两个所述支板(401)之间沿硅片输送方向具有间隙,所述箱体(1)沿竖直方向滑动设置有挡板(12),所述挡板(12)位于箱体(1)远离颜色传感器(3)的一端,所述箱体(1)底部设有用于驱动挡板(12)位移的第一驱动装置(5),所述箱体(1)上设有用于控制箱体(1)上升或者下降的第二驱动装置(6),所述第一驱动装置(5)和第二驱动装置(6)均于控制单元(2)信号连接。
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