[发明专利]一种用于微纳移动及旋转角度测量的配镜装置有效
| 申请号： | 201710167529.6 | 申请日： | 2017-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN106959074A | 公开（公告）日： | 2017-07-18 |
| 发明（设计）人： | 张蓓;刘雨;张承乾;闫鹏 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B11/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于微纳移动及旋转角度测量的配镜装置，属于光电领域及微纳检测领域，本发明包括四个镀膜的直角棱镜,四个直角棱镜的直角面两两重合，四个直角棱镜的直角棱相重合，四个直角棱镜构成立方体棱镜。本发明可解决定中心和非定中心旋转的光程差测量问题，能够保证旋转光程差和位移光程差测得的光程差互不耦合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 移动 旋转 角度 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种用于微纳移动及旋转角度测量的配镜装置，其装置结构包括：由四个直角棱镜构成的立方体棱镜，所述直角棱镜的两个直角面上镀有反射膜，所述立方体棱镜的顶面镀有反光膜。
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