[发明专利]无损式自清洁硅片插片装置有效

专利信息
申请号: 201710167751.6 申请日: 2017-03-20
公开(公告)号: CN106711073B 公开(公告)日: 2023-07-21
发明(设计)人: 孙铁囤;姚伟忠;汤平 申请(专利权)人: 常州亿晶光电科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 代理人: 郑云
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及太阳能电池片生产制造技术领域,尤其是一种无损式自清洁硅片插片装置,底座上通过立柱固定有层板,层板上通过侧板固定有平台,小花篮开口端的左右两侧端面均嵌入有条形铁片,小花篮的开口端盖设有托板,托板的左右两侧均设置有用于与条形铁片吸附的第一磁铁,托板的下表面设置有第二磁铁,大花篮的底面具有与托板相匹配的缺口,通过将小花篮中的硅片随托板一并下降至大花篮中,喷出管上气孔喷出的气流对硅片具有一个向上的托力,降低了硅片落在大花篮底部时的冲击力,避免硅片的边缘发生损坏,同时向上喷出的气流可以将硅片表面的灰尘吹拂,保证硅片的洁净度,避免下道工艺之前还需对硅片进行清洁,还提高了硅片的插片效率。
搜索关键词: 无损 清洁 硅片 装置
【主权项】:
一种无损式自清洁硅片插片装置,包括用于承载相同硅片的大花篮(22)和小花篮(23),大花篮(22)和小花篮(23)均具有开口向上的容纳腔,容纳腔内均等间隔分布有若干用于插设硅片的插槽(24),大花篮(22)中相邻两个插槽(24)的间距与小花篮(23)中相邻两个插槽(24)的间距相等,其特征在于:还包括底座(1),所述底座(1)上通过立柱(2)固定有层板(3),所述层板(3)上通过侧板(4)固定有平台(5),所述平台(5)上开设有与所述小花篮(23)相匹配的第一通孔(501),所述层板(3)上开设有与第一通孔(501)相匹配的第二通孔(301),所述第二通孔(301)位于第一通孔(501)的正下方,所述小花篮(23)开口端的前后两侧分别向外延伸有侧翼(23‑1),小花篮(23)前后两端的侧翼(23‑1)分别支撑在平台(5)上位于第一通孔(501)的两侧,所述小花篮(23)开口端的左右两侧端面均嵌入有条形铁片(23‑2),所述小花篮(23)的开口端盖设有托板(6),所述托板(6)的左右两侧均设置有用于与条形铁片(23‑2)吸附的第一磁铁(7),所述托板(6)的下表面设置有第二磁铁(8),所述大花篮(22)的底面具有与托板(6)相匹配的缺口(22‑1);所述层板(3)的上表面固定有推动气缸(9),所述推动气缸(9)的伸出端与滑座(10)固定连接,所述滑座(10)滑动设置在层板(3)的上表面,所述滑座(10)上开设有与大花篮(22)相匹配的定位槽,所述定位槽的底面开设有第三通孔(10‑1),定位槽与第三通孔(10‑1)之间形成台阶面;所述底座(1)上固定有伸出端朝上的顶升气缸(11),所述顶升气缸(11)的伸出端上固定有托杆(12),所述托杆(12)依次穿过第二通孔(301)、第三通孔(10‑1)及第一通孔(501),所述托杆(12)的顶端固定有用于与第二磁铁(8)吸附的第三磁铁(13),所述第二磁铁(8)与第三磁铁(13)之间的吸附力大于第一磁铁(7)与条形铁片(23‑2)之间的吸附力;所述层板(3)的下方设置有气泵(14),所述气泵(14)的出气端连接有喷出管(15),所述喷出管(15)位于第二通孔(301)的正下方,所述喷出管(15)的侧壁上沿其轴向方向等间隔分布有若干气孔,所述气孔的轴线与托杆(12)的轴线平行。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州亿晶光电科技有限公司,未经常州亿晶光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201710167751.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top