[发明专利]电光装置、电光装置的制造方法以及电子设备在审
申请号: | 201710167886.2 | 申请日: | 2017-03-20 |
公开(公告)号: | CN107238923A | 公开(公告)日: | 2017-10-10 |
发明(设计)人: | 筱原誉 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;G03B21/14 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人: | 田喜庆,吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供能够有效地抑制水分进入配置有反射镜的空间内的电光装置、电光装置的制造方法以及电子设备。在电光装置(100)中,于布线基板(90)上配置有形成有反射镜(50)以及驱动反射镜(50)的驱动元件的芯片(2)、俯视观察时覆盖反射镜(50)的透光性的罩盖(71)以及位于罩盖(71)与芯片(2)之间的隔离片(61)。并且,罩盖(71)与隔离片(61)的边界(79)、芯片(2)与隔离片(61)的边界以及布线基板(90)的一部分被氧化铝膜等无机膜(8)覆盖。无机膜(8)还覆盖芯片侧端子(17)的一部分、内部端子(94)的一部分、导电部件(99)。 | ||
搜索关键词: | 电光 装置 制造 方法 以及 电子设备 | ||
【主权项】:
一种电光装置,其特征在于,具备:布线基板;芯片,安装于所述布线基板的一表面,并且,在所述芯片中形成有反射镜以及驱动所述反射镜的驱动元件;透光性的罩盖,覆盖所述反射镜;隔离片,位于所述罩盖与所述芯片之间;以及无机膜,覆盖所述罩盖与所述隔离片的边界、所述芯片与所述隔离片的边界以及所述布线基板的一部分。
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