[发明专利]一种单轴加速度传感器的标定装置及标定方法

摘要

本发明公开了一种单轴加速度传感器的标定装置及标定方法，包括柔性悬臂梁、激光位移传感器、压电驱动器、加速度传感器、电荷放大器、压电放大器、信号发生器、A/D转换数据采集卡及计算机；通过信号发生器产生的激振信号经过压电放大器后输出到压电驱动器，激励柔性悬臂梁第一阶模态振动，将加速度传感器和激光位移传感器分别检测的振动信号经过运动控制卡进行A/D转换后输入计算机。根据位移和加速度的关系，解算得出加速度传感器测量的电压信号与实际加速度值之间的对应关系。

主权项

一种单轴加速度传感器的标定装置，其特征在于，包括柔性悬臂梁、激光位移传感器、压电驱动器、加速度传感器、电荷放大器、压电放大器、信号发生器、A/D转换数据采集卡及计算机；所述柔性悬臂梁一端与基座固定称为固定端，另一端为自由端，所述加速度传感器及激光位移传感器安装在柔性梁相对的两个侧面上，所述压电驱动器粘贴在柔性悬臂梁靠近固定端的位置，将信号发生器的激励信号通过压电放大器输出到压电驱动器上，所述加速度传感器测量的柔性悬臂梁的加速度信号经过电荷放大器放大后输出到A/D转换数据采集卡转换后输入计算机，所述激光位移传感器检测柔性悬臂梁相应点的横向振动位移信号经过A/D转换数据采集卡转换后输入计算机。