[发明专利]基于光热弱吸收的熔石英元件零概率损伤阈值预测方法有效
| 申请号： | 201710169443.7 | 申请日： | 2017-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN106959206B | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 石峰;钟曜宇;戴一帆;彭小强;胡皓;宋辞 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科学技术大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 43008 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 赵洪;谭武艺 |
| 地址： | 410073 *** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于光热弱吸收的熔石英元件零概率损伤阈值预测方法，步骤包括预先针对与待测熔石英元件同型号的标准熔石英元件样品对表面的区域进行不同程度加工，针对不同程度加工的区域进行光热检测得到光热检测值并进行激光阈值测试得到零概率损伤阈值，根据各个区域的光热检测值及其对应的零概率损伤阈值建立待测熔石英元件的光热检测‑零概率损伤阈值关联曲线模型；对待测熔石英元件进行光热检测得到光热检测值，根据所述光热检测‑零概率损伤阈值关联曲线模型查找对应的零概率损伤阈值，得到待测熔石英元件的零概率损伤阈值。本发明能够实现对熔石英元件的无损检测、操作简单、准确性高、灵敏度高、能满足强光光学系统使用要求。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光热 吸收 石英 元件 概率 损伤 阈值 预测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于光热弱吸收的熔石英元件零概率损伤阈值预测方法，其特征在于步骤包括：/n1）预先针对与待测熔石英元件同型号的标准熔石英元件样品，对表面的区域进行不同程度加工，针对不同程度加工的区域进行基于光热弱吸收的光热检测得到光热检测值并进行激光阈值测试得到零概率损伤阈值，根据各个区域的光热检测值及其对应的零概率损伤阈值建立待测熔石英元件的光热检测-零概率损伤阈值关联曲线模型；/n2）对待测熔石英元件进行基于光热弱吸收的光热检测得到光热检测值；/n3）针对得到的光热检测值，根据所述光热检测-零概率损伤阈值关联曲线模型查找对应的零概率损伤阈值，得到待测熔石英元件的零概率损伤阈值。/n
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