[发明专利]阵列基板及其制作方法、显示面板

摘要

本申请公开了一种阵列基板及其制作方法、显示面板，该阵列基板的制作方法包括在衬底的一侧表面依次覆盖遮光材料层、第一绝缘层、半导体层和源漏金属层，并利用第一半色调掩模板曝光显影形成晶体管源极、晶体管漏极、有源层和遮光层；在晶体管源极和晶体管漏极上覆盖第二绝缘层，利用第二掩模板曝光显影形成贯穿第二绝缘层的第一通孔，且第一通孔暴露晶体管漏极；在第二绝缘层上依次覆盖电极材料层和栅极金属层，利用第三半色调掩模板曝光显影形成晶体管栅极、像素电极和公共电极，其中，像素电极覆盖第一通孔，像素电极通过第一通孔与晶体管漏极电连接。上述制作方法可以三次利用掩模板完成阵列基板的制作，降低了阵列基板的生产成本。

主权项

一种阵列基板的制作方法，其特征在于，包括：在衬底的一侧表面依次覆盖遮光材料层、第一绝缘层、半导体层和源漏金属层，并利用第一半色调掩模板曝光显影形成晶体管源极、晶体管漏极、有源层和遮光层，其中，所述晶体管源极和晶体管漏极位于所述源漏金属层，所述有源层位于所述半导体层，所述遮光层位于所述遮光材料层；在所述晶体管源极和晶体管漏极上覆盖第二绝缘层，利用第二掩模板曝光显影形成贯穿所述第二绝缘层的第一通孔，且所述第一通孔暴露所述晶体管漏极；在所述第二绝缘层上依次覆盖电极材料层和栅极金属层，利用第三半色调掩模板曝光显影形成晶体管栅极、像素电极和公共电极，其中，所述像素电极和所述公共电极在所述电极材料层交替排列，所述像素电极覆盖所述第一通孔，所述像素电极通过所述第一通孔与所述晶体管漏极电连接。