[发明专利]堇青石质烧结体、其制法及复合基板有效
申请号: | 201710172464.4 | 申请日: | 2017-03-22 |
公开(公告)号: | CN107226692B | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
发明(设计)人: | 矶田佳范;铃木能大;井上胜弘;胜田祐司 | 申请(专利权)人: | 日本碍子株式会社 |
主分类号: | C04B35/195 | 分类号: | C04B35/195;C04B35/645;H01P7/00 |
代理公司: | 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 | 代理人: | 王轶;郑雪娜 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种堇青石质烧结体、其制法及复合基板。本发明的堇青石质烧结体以堇青石为主成分,且包含氮化硅或碳化硅。该堇青石质烧结体优选40~400℃下的热膨胀系数低于2.4ppm/℃,开口气孔率为0.5%以下,平均结晶粒径为1μm以下。 | ||
搜索关键词: | 青石 烧结 制法 复合 | ||
【主权项】:
一种堇青石质烧结体,其以堇青石为主成分,且包含氮化硅或碳化硅,其特征在于,所述堇青石质烧结体:40~400℃下的热膨胀系数低于2.4ppm/℃,开口气孔率为0.5%以下,平均结晶粒径为1μm以下。
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