[发明专利]基板划伤检测的方法和设备有效
申请号: | 201710174104.8 | 申请日: | 2017-03-22 |
公开(公告)号: | CN106646958B | 公开(公告)日: | 2019-08-23 |
发明(设计)人: | 李卿硕 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G01N27/24 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 苏培华 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种基板划伤检测的方法和设备,包括:在基板扇出区域的绝缘层表面使用氧化物材料形成分布式线路;检测所述分布式线路中每条线路的第一电容值;将所述第一电容值与标准产品的第二电容值进行比较;根据比较结果确定基板扇出区域的绝缘层表面划伤,从而解决了基板生产流通环节中液晶基板扇出区域的绝缘层表面划伤的问题,从而实现了过程监控。 | ||
搜索关键词: | 划伤 检测 方法 设备 | ||
【主权项】:
1.一种基板划伤检测的方法,其特征在于,包括:在基板扇出区域的绝缘层表面使用氧化物材料形成分布式线路;检测所述分布式线路中每条线路的第一电容值;将所述第一电容值与标准产品的第二电容值进行比较;根据比较结果确定基板扇出区域的绝缘层表面划伤。
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