[发明专利]一种远场光学超分辨显微方法

摘要

本发明公开了一种远场光学超分辨显微方法，具体涉及对样品表面微小结构的光学超分辨显微方法。本发明通过激光干涉测振仪测量不同微小样品的振动模态，利用样品表面微小结构的本征振动频率差异，再配合亚纳米二维位移扫描平移台，绘制出高分辨的空间位置、激励频率的振动谱和像图，从而实现超分辨显微成像。由于该发明是利用样品表面的微小结构的振动频率差异来标识，而且微小结构的振动是采用激光激励和激光检测，因此该方法具有对样品无标记、无损伤、无污染的特征。

主权项

1.一种远场光学超分辨显微方法，所述方法包括下列步骤：S1、将样品放置在位移扫描平移台上，通过显微成像系统，找到待测样品所在区域，对于较为透明样品采用透射成像系统进行成像，对于不透明样品采用反射成像系统进行成像；S2、网络分析仪的频率为f的信号经过信号放大器，输入到声光调制器，实现对激励激光的强度调制，激励激光的强度以相同频率变化；S3、激励激光经第一透镜L1和第二透镜L2扩束后，由物镜聚焦打在样品上作为样品振动的激发光源；S4、532nm的激光光源与632.8nm激光干涉测振仪发出的激光以重合的光路照射到样品上，并且采集样品反射回来的632.8nm的激光，进而对532nm的激发激光产生的样品表面微小结构振动进行检测，测量得到待测样品表面上微小结构的谐振频率、幅值、相位；S5、位移扫描平移台对待测样品表面进行纳米精度的逐点扫描，每扫描一点，通过网络分析仪得到该位置微小结构的振动频率响应，包括幅值特性和相位特性；S6、位移扫描平移台绘制出高分辨的空间位置、激励频率的振动谱和像图。