[发明专利]部件安装装置

摘要

本发明提供一种部件安装装置，其在部件的外形尺寸变更时无需进行光轴调整以及对焦，能够以非常高的精度在短时间内向基板安装部件。安装头具有直至透明保持构件的贯通孔，该保持构件能够保持具有图案特征部的部件并将其安装于具有图案特征部的基板，通过拍摄装置对通过保持构件以及第一贯通孔且被第一反射光学系统反射的第一拍摄光路中的保持部件与基板的图案特征部、以及通过保持构件以及第二贯通孔且被第一反射光学系统与第二反射光学系统反射的第二拍摄光路中的保持部件与基板的图案特征部同时进行拍摄，能够通过移动调整装置使拍摄单元与部件的两图案特征部的位置相应地沿着贯通孔排列方向移动从而进行位置调整。

主权项

1.一种部件安装装置，具备：安装头，其在下端具有保持构件，并且具有直至所述保持构件的第一贯通孔以及第二贯通孔，所述保持构件能够保持具有对位用的第一图案特征部以及第二图案特征部的部件，并将该部件向具有对位用的第一图案特征部以及第二图案特征部的基板安装，并且所述保持构件能够被光学性地透过拍摄；第一反射光学系统，其配置于所述安装头的所述第一贯通孔以及所述第二贯通孔的上方，所述第一反射光学系统使分别通过所述第一贯通孔以及所述第二贯通孔的第一拍摄光路以及第二拍摄光路在所述第一贯通孔以及所述第二贯通孔的上方分别向与所述第一贯通孔以及所述第二贯通孔的贯通孔排列方向交叉的方向且向彼此不同的方向反射；第二反射光学系统，其使所述第一拍摄光路以及所述第二拍摄光路的任一方向与另一方相同的方向反射；拍摄单元，其具有拍摄装置，该拍摄装置利用通过所述保持构件以及所述安装头的所述第一贯通孔并且被所述第一反射光学系统反射的所述第一拍摄光路，对由所述保持构件保持的所述部件的上表面的所述第一图案特征部与所述基板的所述第一图案特征部进行拍摄，同时利用通过所述保持构件以及所述安装头的所述第二贯通孔并且被所述第一反射光学系统以及所述第二反射光学系统反射的所述第二拍摄光路，对由所述保持构件保持的所述部件的上表面的所述第二图案特征部与所述基板的所述第二图案特征部进行拍摄；以及移动调整装置，其与所述部件的所述第一图案特征部以及所述第二图案特征部的位置相应地，使所述拍摄单元沿着所述贯通孔排列方向移动从而进行位置调整。