[发明专利]研磨用组合物在审
申请号: | 201710177901.1 | 申请日: | 2012-02-20 |
公开(公告)号: | CN107052988A | 公开(公告)日: | 2017-08-18 |
发明(设计)人: | 浅野宏;玉井一诚;冈田安规 | 申请(专利权)人: | 福吉米株式会社 |
主分类号: | B24B37/04 | 分类号: | B24B37/04;C09K3/14;C09G1/02;H01L21/02 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人: | 刘新宇,李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种研磨用组合物在维氏硬度1500Hv以上的作为硬脆材料的蓝宝石、碳化硅或者氮化镓的研磨中的用途,其特征在于,该研磨用组合物至少含有氧化铝磨粒和水,且具有8.5以上的pH,所述氧化铝磨粒具有12m2/g以下的比表面积。 | ||
搜索关键词: | 研磨 组合 | ||
【主权项】:
一种研磨用组合物在维氏硬度1500Hv以上的作为硬脆材料的蓝宝石、碳化硅或者氮化镓的研磨中的用途,其特征在于,该研磨用组合物至少含有氧化铝磨粒和水,且具有8.5以上的pH,所述氧化铝磨粒具有12m2/g以下的比表面积。
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