[发明专利]扫描型探针显微镜及其探针接触检测方法

摘要

本发明提供扫描型探针显微镜及其探针接触检测方法，其在探针接触的试样表面是斜面的情况下能改善检测出探针与试样表面的接触的压接力的值相比于水平面产生变化的现象。该扫描型探针显微镜使探针与试样表面接触，利用上述探针扫描上述试样表面，具备：悬臂，其在前端具有上述探针；位移检测部，其检测上述悬臂的挠曲量和扭曲量；以及接触判定部，其根据由上述位移检测部检测到的无变形的悬臂中的全方位的挠曲量和扭曲量，判定上述探针对于上述试样表面的一次接触。

主权项

一种扫描型探针显微镜，使探针与试样表面接触，利用所述探针扫描所述试样表面，该扫描型探针显微镜具备：悬臂，其在前端具有所述探针；位移检测部，其检测所述悬臂的挠曲量和扭曲量；以及接触判定部，其根据由所述位移检测部检测到的无变形的悬臂中的全方位的挠曲量和扭曲量，判定所述探针对于所述试样表面的一次接触。