[发明专利]光纤耦合器用石英基板的内槽毛面处理装置及方法有效
申请号: | 201710178921.0 | 申请日: | 2017-03-23 |
公开(公告)号: | CN106956185A | 公开(公告)日: | 2017-07-18 |
发明(设计)人: | 马晓;李江 | 申请(专利权)人: | 长飞光纤光缆股份有限公司 |
主分类号: | B24B19/02 | 分类号: | B24B19/02;B24B9/08;B24B29/00;B24B55/00;B24C3/12 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司42102 | 代理人: | 胡建平 |
地址: | 430073 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明涉及一种光纤耦合器用石英基板的内槽毛面处理装置,包括固定工作台、柔性刷、砂浆喷管及往复驱动装置,所述柔性刷对应安设在固定工作台的上方,柔性刷包括刷板及固定于刷板下面的刷毛,所述刷板上设有通孔,所述砂浆喷管安装于所述柔性刷上方,砂浆能够从所述砂浆喷管中流出,并经所述通孔流入所述刷毛,所述往复驱动装置与柔性刷刷板相连,驱动柔性刷做往复运动。本发明采用柔性刷带动砂浆对石英基板内槽进行软接触磨擦,不仅对工件损伤小,可以大大降低产品的加工应力,而且毛面磨砂均匀,工件加工质量好;加工装置和工艺简便,无需高精度的对准,增大柔性刷的面积就可以同时批量加工,加工效率高;本发明中不采用化学腐蚀剂,有利环保。 | ||
搜索关键词: | 光纤 耦合 器用 石英 内槽毛面 处理 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种光纤耦合器用石英基板的内槽毛面处理装置,其特征在于,包括固定工作台、柔性刷、砂浆喷管及往复驱动装置,所述柔性刷对应安设在固定工作台的上方,所述柔性刷包括刷板及固定于刷板下面的刷毛,所述刷板上设有通孔,所述砂浆喷管安装于所述柔性刷上方,砂浆能够从所述砂浆喷管中流出,并经所述通孔流入所述刷毛,所述往复驱动装置与柔性刷刷板相连,驱动柔性刷做往复运动。
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