[发明专利]一种具有磁滞线圈的磁传感器封装结构

摘要

本发明公开了一种具有磁滞线圈的磁传感器封装结构，包括衬底、传感器切片、设置在衬底上的螺旋磁滞线圈、引线键合焊盘，所述的传感器桥臂由磁电阻传感元件构成，所述传感器切片上沉积有传感器桥臂，所述传感器桥臂电连接成磁电阻传感器电桥，所述的磁电阻传感器电桥设置在所述磁滞线圈上，所述螺旋磁滞线圈产生的磁场与传感器电桥的敏感轴共线，所述磁电阻传感器桥式电路封装在所述衬底上。本发明通过设置螺旋磁滞线圈，能够承载更大的电流，电阻值更小。本发明消除了由传感器在磁滞周期所产生的磁滞，且所述封装结构的制作工艺简单，制作成本低。

主权项

一种具有磁滞线圈的磁传感器封装结构，其特征在于：包括衬底(1)、传感器切片(3)、设置在衬底上的螺旋磁滞线圈(2)、引线键合焊盘(4)，所述传感器切片(3)上沉积有传感器桥臂；所述传感器桥臂电连接成磁电阻传感器推挽式电桥，所述传感器桥臂包括由磁电阻传感元件构成的磁电阻传感器推挽式电桥的推臂和挽臂，所述磁电阻传感器推挽式电桥为磁电阻传感器推挽式半桥或者磁电阻传感器推挽式全桥；所述磁电阻传感器推挽式电桥设置在所述螺旋磁滞线圈(2)上，且所述电桥封装在所述衬底(1)上；所述螺旋磁滞线圈(2)产生的磁场与传感器电桥的敏感轴共线；还包括脉冲产生电路和信号处理电路，所述的脉冲产生电路用于提供正极磁场脉冲和负极磁场脉冲，所述脉冲产生电路包括第一电压器和第二电压器，所述第一电压器输出正极电压V1，所述第二电压器输出负极电压V2；所述信号处理电路根据正极电压V1和负极电压V2计算出输出电压Vout＝(V1+V2)/2，并通过输出电压电路进行输出。