[发明专利]一种处理光阻沉积的搅拌装置及光阻桶有效
申请号: | 201710181986.0 | 申请日: | 2017-03-24 |
公开(公告)号: | CN106823927B | 公开(公告)日: | 2019-06-11 |
发明(设计)人: | 唐林宁 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | B01F7/18 | 分类号: | B01F7/18;B01F15/00 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 钟子敏 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明涉及搅拌装置技术领域,具体涉及一种处理光阻沉积的搅拌装置及光阻桶,包括套轴、内伸缩轴、搅拌组件和旋杆;其中,旋杆安装在套轴上端用于带动套轴转动,搅拌组件设置在套轴下端随着套轴转动,内伸缩轴设置在套轴内部与搅拌组件连接,用于控制搅拌组件开合。打开光阻桶的圆口,将搅拌装置置于光阻桶内,内伸缩轴向下压打开两个搅拌片,旋转旋杆带着套轴搅拌片转动,搅拌片靠近光阻桶底部,此时手控制搅拌装置从底部开启逐步向上搅拌,从而到达光阻成分均一的目的。使光刻胶搅拌更佳均匀,使用方便快捷,节省大量人力物力,搅拌速度快,安全性高。 | ||
搜索关键词: | 一种 处理 沉积 搅拌 装置 光阻桶 | ||
【主权项】:
1.一种处理光阻沉积的搅拌装置,其特征在于,包括:套轴(13)、内伸缩轴(12)、搅拌组件和旋杆(11);其中,所述旋杆(11)安装在所述套轴(13)上端用于带动所述套轴(13)转动,所述搅拌组件设置在所述套轴(13)下端随着所述套轴(13)转动,所述内伸缩轴(12)以在上方贯穿所述套轴(13)且在下方不从所述套轴(13)突出的方式设置在所述套轴(13)内部与所述搅拌组件连接,用于控制所述搅拌组件开合,在所述套轴(13)下部两侧均加工有豁口,所述内伸缩轴(12)的下端安装有活动轴节(14),两个连接片(15)设置在所述豁口内,两个所述连接片(15)上端分别与所述活动轴节(14)连接,两个所述连接片(15)下端分别与所述搅拌组件连接,所述搅拌组件具有搅拌片(16),所述搅拌片(16)在所述内伸缩轴(12)上提后能够被连接于所述活动轴节(14)的所述连接片(15)收起并穿过所述豁口而完全收纳于所述套轴(13)内,并且所述搅拌片(16)在所述内伸缩轴(12)下放后能够穿过所述豁口向水平方向展开,以实现不借助机械驱动力而手动地控制所述搅拌片(16)的收起和展开,并在所述搅拌片(16)展开后通过所述旋杆(11)手动地带动所述搅拌组件、所述套轴(13)以及内伸缩轴(12)整体地旋转。
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