[发明专利]靶坯的加工方法有效
| 申请号： | 201710183783.5 | 申请日： | 2017-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN108620816B | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;张良进 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P15/00 | 分类号： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶坯的加工方法，包括：提供含钨初始靶坯，所述初始靶坯包括第一焊接面、与所述第一焊接面相对的溅射面、以及位于所述第一焊接面与所述溅射面之间的第一侧面；对所述溅射面进行第一车削加工，在所述溅射面中心处形成中心孔；沿所述中心孔指向所述第一侧面的方向，对所述溅射面进行第二车削加工，使所述溅射面为向所述第一焊接面凹陷的弧面，第二车削加工后的所述初始靶坯作为靶坯。本发明通过所述中心孔，使所述车削加工所采用的刀具从所述中心孔处开始加工，从而避免所述刀具的刀尖直接与所述溅射面接触，进而可以避免所述刀具发生崩刃或破损的问题，且还有利于提高所述靶坯的外观质量和性能。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 方法 | ||
【主权项】：
1.一种靶坯的加工方法，其特征在于，包括：提供含钨初始靶坯，所述初始靶坯包括第一焊接面、与所述第一焊接面相对的溅射面、以及位于所述第一焊接面与所述溅射面之间的第一侧面；对所述溅射面进行第一车削加工，在所述溅射面中心处形成中心孔；沿所述中心孔指向所述第一侧面的方向，对所述溅射面进行第二车削加工，使所述溅射面为向所述第一焊接面凹陷的弧面，第二车削加工后的所述初始靶坯作为靶坯。
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