[发明专利]光扫描装置、输送装置以及特征检测装置

摘要

本发明提供光扫描装置、输送装置以及特征检测装置。并提供可抑制光扫描装置中的空间频率灵敏度的凹陷的产生的技术。光扫描装置具备具有供扫描光被介质反射所得到的反射光的一部分穿过的穿过区域的反射光穿过部。穿过区域的外周轮廓线包括通过如下的点的集合而构成的轮廓线，该点在扫描方向的正交方向上的坐标相对于其在扫描方向上的坐标唯一确定。轮廓曲线描绘出朝向穿过区域凸出的曲线。在将穿过区域中与轮廓曲线相接的区域分割为如下的四边形形状的多个微小区域时，微小区域在扫描方向上的宽度按照其在正交方向上的位置而不同，多个微小区域具有互为相等的面积并从轮廓曲线延伸至扫描方向上的预先确定的坐标位置，且在正交方向上连续排列。

主权项

一种光扫描装置，其通过非相干的扫描光而对介质在扫描方向上进行扫描，所述光扫描装置具备：扫描光射出部，其射出所述扫描光；反射光穿过部，其具有供所述扫描光被所述介质反射所得到的反射光的一部分穿过的穿过区域；受光信号输出部，其对穿过了所述穿过区域的所述反射光进行受光，并以预先确定的周期来输出表示所述反射光的强度的时间变化的信号；和信号生成部，其生成并输出对从所述受光信号输出部输出的所述信号进行高速傅里叶变换而得到的每个所述周期的频率信号，所述穿过区域的外周轮廓线包括通过如下的点的集合而构成的轮廓曲线，所述点在与所述扫描方向正交的正交方向上的坐标相对于所述点在所述扫描方向上的坐标是唯一确定的，所述轮廓曲线描绘出朝向所述穿过区域而凸出的曲线，在将所述穿过区域中与所述轮廓曲线相接的区域分割为如下的四边形形状的多个微小区域时，所述微小区域在所述扫描方向上的宽度按照该微小区域在所述正交方向上的位置而不同，其中，多个所述微小区域具有互为相等的面积，并从所述轮廓曲线延伸至所述扫描方向上的预先确定的坐标位置，且在所述正交方向上被连续排列。