[发明专利]一种三氯氢硅的制备方法有效
申请号: | 201710185869.1 | 申请日: | 2017-03-24 |
公开(公告)号: | CN106882809B | 公开(公告)日: | 2018-05-04 |
发明(设计)人: | 王体虎;肖建忠;宗冰;尹东林;郑连基;王振荣;行卫国 | 申请(专利权)人: | 亚洲硅业(青海)有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人: | 李进 |
地址: | 810007 青*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | 本发明提供一种三氯氢硅的制备方法,属于有机硅和多晶硅的生产技术领域。一种三氯氢硅的制备方法,分别将氢气和聚氯硅烷通入具有催化剂的反应器中反应得到三氯氢硅。将催化剂置于反应器中之前于体积比为0.15~0.251的O2和N2气氛中活化4~6h。此方法清洁环保、条件温和、环境安全、能耗较低、工艺简便,易于实现,可实现产业化推广运用。 | ||
搜索关键词: | 一种 三氯氢硅 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种三氯氢硅的制备方法,其特征在于,分别将氢气和聚氯硅烷通入具有催化剂的反应器中反应得到所述三氯氢硅;将所述催化剂置于所述反应器中之前于体积比为0.15~0.25:1的O2和N2气氛中活化4~6h,所述催化剂为Ni‑Cu合金。
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