[发明专利]立式石墨烯卷对卷连续生长设备

摘要

本发明公开了一种能够提高生产效率，降低能耗，保证产品品质的立式石墨烯卷对卷连续生长设备。该立式石墨烯卷对卷连续生长设备，包括真空上料室、高温工艺腔室、真空取料室、驱动装置；所述真空上料室和真空取料室均设置有真空泵；所述高温工艺腔室上设置有快速加热装置；所述真空上料室位于高温工艺腔室的下端，所述真空取料室设置在高温工艺腔室的上端；所述高温工艺腔室的两端均设置有快速冷却装置；所述真空上料室内设置有用于检测石墨烯薄膜张力的张力检测装置，所述真空取料室内设置有用于检测石墨烯薄膜线速度的速度检测装置。采用该立式石墨烯卷对卷连续生长设备能够提高产品品质，节约生产成本。

主权项

立式石墨烯卷对卷连续生长设备，包括真空上料室(1)、高温工艺腔室(7)、真空取料室(8)、驱动装置；所述真空上料室(1)内设置有石墨烯生长基底放料辊(2)，所述真空取料室(8)内设置有石墨烯基底收料辊(9)以及收料导向辊(10)；所述真空上料室(1)和真空取料室(8)均设置有真空泵；所述石墨烯生长基底放料辊(2)以及石墨烯基底收料辊(9)均通过驱动装置，驱动转动；所述高温工艺腔室(7)上设置有快速加热装置(6)；其特征在于：所述高温工艺腔室(7)设置在真空上料室(1)与真空取料室(8)之间；所述真空上料室(1)位于高温工艺腔室(7)的下端，所述真空取料室(8)设置在高温工艺腔室(7)的上端；所述高温工艺腔室(7)的两端均设置有快速冷却装置(5)；所述真空上料室(1)内设置有用于检测石墨烯薄膜(16)张力的张力检测装置(3)，所述真空取料室(8)内设置有用于检测石墨烯薄膜(16)线速度的速度检测装置(11)。