[发明专利]一种改进型聚焦三维形貌测量方法有效
| 申请号： | 201710187268.4 | 申请日： | 2017-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN106959079A | 公开（公告）日： | 2017-07-18 |
| 发明（设计）人： | 左芬;边心田;雷枫 | 申请（专利权）人： | 淮阴师范学院 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京捷诚信通专利事务所(普通合伙)11221 | 代理人： | 王卫东 |
| 地址： | 223300 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改进型聚焦三维形貌测量方法，该方法包括：采用低相干的白光干涉测量系统，连续采集得到具有光滑表面的被测物体的多幅高对比度的干涉图像；计算出每一幅图像中的每个像素坐标点的聚焦因子的最大值；根据所有像素坐标点的聚焦因子的最大值确定所有像素坐标点的精准聚焦位置，从而恢复出具有光滑表面的被测物体的三维形貌。本发明通过采用低相干的白光干涉测量系统，连续采集得到具有光滑表面的被测物体的多幅高对比度的干涉图像，根据所有像素坐标点的聚焦因子的最大值确定所有像素坐标点的精准聚焦位置，从而恢复出被测的光滑表面物体的三维形貌，具有自动化程度高，测量操作简便，测量精度较高和易于普及推广等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进型 聚焦 三维 形貌 测量方法 | ||
【主权项】：
一种改进型聚焦三维形貌测量方法，其特征在于，包括以下步骤：采用低相干的白光干涉测量系统，连续采集得到具有光滑表面的被测物体的多幅高对比度的干涉图像；计算出每一幅图像中的每个像素坐标点的聚焦因子的最大值；根据所有像素坐标点的聚焦因子的最大值确定所有像素坐标点的精准聚焦位置，从而恢复出具有光滑表面的被测物体的三维形貌。
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