[发明专利]一种高密度水平定向碳纳米管的制备方法及其应用在审
| 申请号： | 201710187936.3 | 申请日： | 2017-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN107651666A | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 孙璀光 | 申请（专利权）人： | 江苏超电新能源科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B32/162 | 分类号： | C01B32/162;H01L29/78;H01L29/16 |
| 代理公司： | 南京先科专利代理事务所(普通合伙)32285 | 代理人： | 裴素艳 |
| 地址： | 214024 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种高密度水平定向碳纳米管的制备方法，包括如下步骤将催化剂采用浸渍提拉方法涂覆于硅片衬底表面；将处理后的硅片衬底放置于真空管式炉的石英管内；将炉温升高并通入气源，催化剂在硅片衬底表面进行恒温反应；自然冷却到室温，硅片衬底上生长的物质为所述高密度水平定向碳纳米管。本发明提供的高密度水平定向碳纳米管的制备方法，通过浸渍的方式在衬底表面均匀涂覆一定浓度的催化剂，可有效提高衬底表面生长的碳纳米管的密度与均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高密度 水平 定向 纳米 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种高密度水平定向碳纳米管的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将催化剂采用浸渍提拉方法涂覆于硅片衬底表面；将处理后的硅片衬底放置于真空管式炉的石英管内；将炉温升高并通入气源，催化剂在硅片衬底表面进行恒温反应；自然冷却到室温，硅片衬底上生长的物质为所述高密度水平定向碳纳米管。
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