[发明专利]一种集成型生物传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201710190800.8 | 申请日： | 2017-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN106940298B | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 金里;周杰;方俏然;赵恒;吴浩然;冯俊波;郭进;崔乃迪 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41 |
| 代理公司： | 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 | 代理人： | 丁瑞瑞 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成型生物传感器及其制备方法，所述入射波导设置在本体的输入端，所述滤波器的输入端位于本体的输入端上，所述滤波器的输出端位于本体的输出端上，所述热调谐微环设置在滤波器的输出端上，所述功分器的输入端位于热调谐微环的下载端上，所述传感微环设置在功分器的另一个输出端，所述锗硅探测器设置在传感微环的下载端的输出口，所述加热电极设置在热调谐微环之上，所述传感微环位于所述传感窗口内。本发明将光电探测器与传感无源器件的进行单片集成，易于进行阵列式传感；输入的光源为宽谱光源，以及不需要外接光功率计，减少了系统的损耗以及复杂性；无需昂贵的可调谐激光器和高精度的光谱仪，大大的减小了整个系统成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 生物 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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