[发明专利]一种用于蒸镀设备的磁板和一种蒸镀设备在审
| 申请号： | 201710191047.4 | 申请日： | 2017-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN106978584A | 公开（公告）日： | 2017-07-25 |
| 发明（设计）人： | 任晓光 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种用于蒸镀设备的磁板和一种蒸镀设备，其中，所述磁板以吸附掩膜板使得掩膜板和基板对位贴合，所述磁板包括至少两个N极磁块和至少两个S极磁块；至少两个所述N极磁块和至少两个所述S极磁块在第一方向上相互交错设置，至少两个所述N极磁块和至少两个所述S极磁块在第二方向上相互交错设置，所述第一方向和第二方向相互大致垂直。本发明不仅增加磁性吸附力，而且使得在磁性吸附力为零的周围磁性吸附力均匀，使得磁板的整体结构吸附力均匀，对掩膜板的吸附均匀，其对掩膜板的吸附效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 设备 | ||
【主权项】：
一种用于蒸镀设备的磁板，以吸附掩膜板使得掩膜板和基板对位贴合，其特征在于，所述磁板包括：至少两个N极磁块；至少两个S极磁块；至少两个所述N极磁块和至少两个所述S极磁块在第一方向上相互交错设置，至少两个所述N极磁块和至少两个所述S极磁块在第二方向上相互交错设置，所述第一方向和第二方向相互大致垂直。
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