[发明专利]靶材组件的车削方法在审
| 申请号： | 201710192792.0 | 申请日： | 2017-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN108660423A | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;李力平 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种靶材组件的车削方法，包括：提供特种塑料靶材的坯料和不锈钢背板；将所述特种塑料靶材的坯料和不锈钢背板焊接在一起，形成特种塑料靶材组件；采用第一刀具对所述特种塑料靶材组件进行粗车削；采用第二刀具对所述特种塑料靶材组件进行精车削；对所述特种塑料靶材组件进行研磨处理。本发明车削方法形成的靶材组件质量得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材组件 特种塑料 车削 不锈钢背板 靶材 坯料 刀具 研磨处理 粗车削 精车削 焊接 | ||
【主权项】：
1.一种靶材组件的车削方法，其特征在于，包括：提供特种塑料靶材的坯料和不锈钢背板；将所述特种塑料靶材的坯料和不锈钢背板焊接在一起，形成特种塑料靶材组件；采用第一刀具对所述特种塑料靶材组件进行粗车削；采用第二刀具对所述特种塑料靶材组件进行精车削；对所述特种塑料靶材组件进行研磨处理。
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