[发明专利]一种成膜装置、成膜方法及成膜源有效
| 申请号： | 201710192899.5 | 申请日： | 2017-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN106967951B | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 田宁;赵云;张为苍;李建华;杨辅 | 申请（专利权）人： | 信利半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 邓义华;陈卫 |
| 地址： | 516600 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种成膜装置、成膜方法及成膜源。该成膜装置包括具有成膜室、成膜源，成膜源包括加热坩埚、和至少两个缓冲件以及驱动件；其中，加热坩埚包括用于收容成膜材料的坩埚以及用于加热所述坩埚内的成膜材料的加热件；每一缓冲件包括恒温容器、位于恒温容器底部的下阀门、位于恒温容器顶部的上阀门和出气口、用于检测恒温容器的气压的压力传感器。本成膜装置控制膜厚时，无需要知道具体的材料蒸气压与温度之间的对应关系，只需要了解恒温容器的压力与膜厚之间的简单关系，简化工作难度，提高生产效率以及良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 方法 成膜源 | ||
【主权项】：
1.一种成膜装置，其具有把室内设置成真空或减压状态的成膜室、和在该成膜室内将成膜材料成膜于基板上的被成膜面上的成膜源，其特征在于，所述成膜源包括将成膜材料加热使其蒸发或升华为气态的加热坩埚、和与加热坩埚气密连通的至少两个缓冲件以及用于实现每一缓冲件伸缩移动的驱动件；其中，所述加热坩埚包括用于收容所述成膜材料的坩埚以及用于加热所述坩埚内的成膜材料的加热件；每一所述缓冲件包括与所述坩埚气密连通的恒温容器、位于所述恒温容器底部的下阀门、位于所述恒温容器顶部的上阀门和出气口、用于检测所述恒温容器的气压的压力传感器；所述成膜装置还包括控制器，其分别与所述加热件、下阀门、上阀门、压力传感器及驱动件连接控制。
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