[发明专利]一种铜或铜合金的选择性蚀刻液有效
| 申请号： | 201710193254.3 | 申请日： | 2017-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN106757033B | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 王毅明;朱霞 | 申请（专利权）人： | 江苏和达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/44 | 分类号： | C23F1/44 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210012 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种铜或铜合金的选择性蚀刻液，该蚀刻液包含过醋酸、三氟丙酮酸乙酯、二溴新戊二醇、乙二胺四乙酸、2,2‑双(4‑甲基苯基)六氟丙烷、4,4'‑(2,2,2‑三氟‑1‑三氟甲基)亚乙基双(1,2‑苯二甲酸)及水。该蚀刻液具有明显高的蚀刻效率和蚀刻选择性，对钼层几乎不蚀刻，而对铜层蚀刻率高。此外，本发明提供的蚀刻液在蚀刻过程中不会产生蚀刻残渣，具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铜合金 选择性 蚀刻 | ||
【主权项】：
1.一种铜或铜合金的选择性蚀刻液，其特征在于，按重量份计，包含过醋酸水溶液5‑18份、三氟丙酮酸乙酯0.5‑3份、二溴新戊二醇0.1‑5份、乙二胺四乙酸0.1‑5份、2,2‑双(4‑甲基苯基)六氟丙烷0.1‑5份、4,4'‑(2,2,2‑三氟‑1‑三氟甲基)亚乙基双(1,2‑苯二甲酸)0.1‑30份、水50‑200份；所述过醋酸水溶液浓度为18‑23wt％。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏和达电子科技有限公司，未经江苏和达电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710193254.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种侧蚀小的铜蚀刻液
- 下一篇：一种热点网络切换方法及终端设备
