[发明专利]一种具有富硼化钨涂层的工件及其制备方法在审
| 申请号： | 201710193597.X | 申请日： | 2017-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN108660424A | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 唐永炳;石磊;蒋春磊 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种具有富硼化钨涂层的工件，包括工件基体，以及依次设置于所述工件基体上的钨层、硼化钨梯度层和富硼化钨涂层；沿所述工件基体向所述钨层的厚度方向，所述硼化钨梯度层中的硼含量逐渐增加；所述富硼化钨涂层中的晶粒为WBy，其中，y为2.5‑4的数值。本发明独特的涂层结构，可使各层间的结合强度将高，各层之间的弹性模量和热膨胀系数从基体到顶层薄膜呈梯度变化，将整体涂层的应力降至趋于零，提高富硼化钨涂层的韧性和结合力。本发明还提供了该具有富硼化钨涂层的工件的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 硼化钨 工件基体 梯度层 钨层 制备 弹性模量 热膨胀系数 晶粒 梯度变化 涂层结构 依次设置 整体涂层 逐渐增加 结合力 层间 顶层 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种具有富硼化钨涂层的工件，其特征在于，包括工件基体，以及依次设置于所述工件基体上的钨层、硼化钨梯度层和富硼化钨涂层；沿所述工件基体向所述钨层的厚度方向，所述硼化钨梯度层中的硼含量逐渐增加；所述富硼化钨涂层中的晶粒为WBy，其中，y为2.5‑4的数值。
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