[发明专利]一种基于质谱仪真空腔内气压变化的控制方法

摘要

一种基于质谱仪真空腔内气压变化的控制方法，属于质谱仪分析控制技术领域。该方法通过气压传感器将真空腔内的气压值实时采集到质谱仪中心控制器中，参与质谱仪信号的时序控制，中心控制器依据气压状态实时调整各种离子操控信号的发生与时序，在预设气压范围内，进行相应的离子操作。当真空腔内气压状态无法完成质谱分析等一系列操作时，通过程序控制开关前级泵、分子泵的抽气速率及可控气路，保证质谱分析操作在合适的气压条件下进行，从而得到正确的样品分析结果，同时节省了大量的人工调试仪器、修正控制信号时序关系的工作，有效提高了质谱仪分析效率。

主权项

一种基于质谱仪真空腔内气压变化的控制方法，其特征在于该方法包括如下步骤：1)利用质谱仪抽真空系统，使真空腔内气压达到所需的气压值；2)通过连续进样接口或非连续进样接口将常压离子源产生的样品离子引入真空腔中，完成对待分析样品离子的引入过程；3)采用气压传感器将真空腔内气压变化值通过模拟/数字转换电路实时采集到质谱仪的中心控制器中；中心控制器将测得的气压曲线用来修正离子操控信号的时序关系；4)中心控制器判断当前气压值是否适合离子操控的预设气压条件，预设气压范围是133Pa～0.001Pa，决定是否通过控制分子泵抽气速率、开关前级泵、可控气路来调节气压，完成离子操控信号的时序控制，进而对离子进行质谱分析操作。