[发明专利]一种镍或镍合金的选择性蚀刻液及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201710193848.4 | 申请日： | 2017-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN106702385B | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 王毅明;朱霞 | 申请（专利权）人： | 江苏和达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/44 | 分类号： | C23F1/44 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210012 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种镍或镍合金的选择性蚀刻液及其制备方法和应用，该蚀刻液按重量份计包括如下组分：三氯化铁、三氟乙酰丙酮铁、氨基磺酸、己二酸、γ‑氨丙基三乙氧基硅烷、硫代硫酸钾、氢氟酸、咪唑啉季铵盐及去离子水。本发明提供的蚀刻液对镍或镍合金的蚀刻速度适当，对铜几乎不腐蚀，选择性强，且经蚀刻后的铜板表面光亮，无沉淀，平整，无侧蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镍合金 选择性 蚀刻 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种镍或镍合金的选择性蚀刻液，其特征在于，按重量份计包括如下组分：三氯化铁10‑30份、三氟乙酰丙酮铁1‑20份、氨基磺酸1‑8份、己二酸20‑30份、γ‑氨丙基三乙氧基硅烷4‑10份、硫代硫酸钾0.1‑1份、氢氟酸1‑8份、咪唑啉季铵盐0.1‑1份、去离子水100‑300份。
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