[发明专利]脉冲激光诱导向前转移制备图案化金属薄层的系统和方法

摘要

本发明公开了一种脉冲激光诱导向前转移制备图案化金属薄层的系统和方法，属于激光应用及印刷电子技术领域，该系统包括：激光光源、光路调节系统和二维精密移动系统，激光光源与光路调节系统相连接，二维精密移动系统位于光路调节系统的下面；激光光源为脉冲激光器；光路调节系统包括准直扩束透镜组，与之相连接的分光元件，分光元件呈90度分别与两个反射镜相连接，两个反射镜分别与合束镜相连接，合束镜通过聚焦透镜与物镜相连接；二维精密移动系统包括电动平台、运动控制器和计算机，计算机通过运动控制器和电动平台相连接，电动平台用于放置初始基片和接收基片。本发明可实现快速、高精度、大幅面的图案化转移，大大降低制造成本和制造周期。

主权项

1.一种脉冲激光诱导向前转移图案化金属薄层的系统，其特征在于：该系统包括：激光光源、光路调节系统和二维精密移动系统，所述激光光源与所述光路调节系统相连接，所述二维精密移动系统位于所述光路调节系统的下面；所述激光光源为脉冲激光器；所述光路调节系统包括准直扩束透镜组，与之相连接的分光元件，所述分光元件呈90度分别与两个反射镜相连接，两个反射镜分别与合束镜相连接，所述合束镜通过聚焦透镜与物镜相连接；所述二维精密移动系统包括电动平台、运动控制器和计算机，所述计算机通过运动控制器和电动平台相连接，所述电动平台用于放置初始基片和接收基片；所述分光元件为偏振分光棱镜，所述反射镜分别通过与其偏振方向平行放置的衍射光栅或SLM与所述合束镜相连接；所述脉冲激光器的输出波长为1064nm，脉冲宽度为1~30ns，重复频率为1~10kHz，最大脉冲能量>1mJ；所述光路调节系统中，准直扩束透镜组由两个平凸透镜组成，对激光光源发射的激光进行准直扩束后，激光光斑直径变为原来的2倍，该准直扩束透镜组与脉冲激光器直接固接在一起；所述反射镜为对于1064nm激光的全反射镜；所述合束镜为对于1064nm激光的半透半反镜；所述聚焦透镜的焦距为50mm；所述电动平台在X、Y方向上的行程范围分别为200mm，最大速度200mm/s，每100mm行程范围内直线度小于10μm，平直度小于15μm；所述运动控制器采用交流伺服电机；所述初始基片和接收基片之间设有垫片。/n