[发明专利]EUV投射光刻的照明光学单元

摘要

一种EUV投射光刻的照明光学单元，将照明光从光源沿着照明光束路径引导到物场。第一分面反射镜包括多个第一单片分面。第二分面反射镜包括多个第二分面。由第一分面中至少一些和分配的第二分面预定物场照明通道。经由照明通道，整个物场均可用照明光照明。第一分面实施为将光源物成像到第二分面上设置的一定数目的光源像中，所述数目对应于物场照明通道的数目。对于至少一些物场照明通道，分配到各自物场照明通道的光源像细分为第一光源部分像和至少一个第二光源部分像，其分别由分配到各自物场照明通道的第一分面的彼此不重叠的分面部分产生。至少两个光源部分像彼此间具有大于其平均直径的距离。

主权项

1.一种EUV投射光刻的照明光学单元，用于将照明光从光源沿着照明光光束路径引导到物场，其中要成像的物体为可布置的，所述照明光学单元包含：‑第一分面反射镜，所述第一分面反射镜包括多个第一分面，所述第一分面是单片的，所述多个第一分面用于所述照明光的光束的部分光束的反射引导，‑第二分面反射镜，所述第二分面反射镜设置在所述照明光光束路径中所述第一分面反射镜的下游，且包括多个第二分面，所述多个第二分面用于由所述第一分面反射的所述部分光束的反射引导，使得通过反射光束引导分配的所述第一分面和所述第二分面中的至少一些来预定物场照明通道，通过所述物场照明通道，所述整个物场在每个情况下由所述照明光可照明，其中在每个情况下将恰好一个第一分面和恰好一个第二分面分配给所述物场照明通道，‑其中所述第一分面实施为将为所述光源或下游中间焦点的光源物成像至设置在所述第二分面上的一定数目的光源像，所述数目对应于物场照明通道的数目，‑其中对于至少一些物场照明通道适用的是，分配给各自的物场照明通道的光源像含有：‑‑第一光源部分像，所述第一光源部分像由分配给所述各自的物场照明通道的所述第一分面的第一分面部分产生，‑‑至少一个第二光源部分像，所述至少一个第二光源部分像由分配给所述各自的物场照明通道的所述第一分面的第二分面部分产生，其中所述第一分面部分和所述第二分面部分彼此不重叠，‑其中至少两个光源部分像的中心彼此之间的距离大于所述两个光源部分像的平均1/e²直径。